Lue uutinen mobiilisivustolla

Tutkijat kehittivät uuden nanovalmistusmenetelmän Suomessa

Nikolai Chekurov valmisti viime kesänä nanokokoisen Aalto-maljakon, jonka korkeus oli noin 600 nanometriä ja tilavuus noin 0,1 femtolitraa.

20.2.2009 10:41 Teknillisen korkeakoulun Micronovassa olevat tutkijat ovat kehittäneet uuden valmistusmenetelmän nanorakenteiden työstämiseen. Se nopeuttaa huomattavasti koko prosessia, TKK kertoo.

TKK:n mukaan valmistuksessa oivallettiin käyttää uudella tavalla kahden menetelmän yhdistelmää, kohdistettua ionisuihkua (FIB) ja matalan lämpötilan ionietsausta (DRIE). Tämä nopeuttaa merkittävästi valmistusprosessia ja mahdollistaa monimutkaisten kolmiulotteisten rakenteiden valmistamisen.

Koko prosessin läpiviemiseen kuluu viikkojen sijasta vain muutamia tunteja. Valmistusmenetelmän etuna on myös lopputuloksen erittäin korkea laatu ja erinomainen toistettavuus.

Menetelmä perustuu ionisuihkun seostusominaisuuteen. Ionisuihkun galliumionit tunkeutuvat näytteen pintakerrokseen ja muodostavat syväetsausta hyvin kestävän etsausmaskin. Koska suihku on hyvin kapea, pienin valmistettavissa oleva kuvio on kooltaan jopa alle 50 nanometriä.

– Piin ja muiden materiaalien nanotyöstömenetelmiä kehitetään erityisesti elektroniikka- ja optiikkasovelluksiin, ja kilpailu nopeampien ja laadukkaampien prosessien luomisessa on kovaa. Nyt keksimäämme menetelmää ei vain ollut aiemmin kokeiltu hyvin pienten rakenteiden valmistamisessa, kertoo oivalluksen tekijä Nikolai Chekurov.

– Menetelmämme tulee hyödyttämään erityisesti tutkimuskäyttöön tarkoitettujen pienten komponenttien valmistusta ja prototyyppien rakentamista.

Puhdaslinjan laitteiden
avulla mahdollista

Chekurovin väitöstutkimusta ohjaava professori Ilkka Tittonen on tyytyväinen Micronovan nanovalmistuslinjaan, jonka jalokivenä on uusi FIB-laite.

– Ilman Micronovan puhdastilan laitteita emme olisi voineet tätä menetelmää kehittää. Rakenteet ovat virheettömiä, kolmiulotteisia ja täysin ennalta määrättyjä ilman satunnaista vaihtelua, toteaa Tittonen.

Micronovaan hankittiin loppuvuodesta 2007 FIB-laite (Focused Ion Beam), joka on ainoa tämän luokan laite Suomessa. Laitteen käyttöönotto- ja testausvaiheessa viime kesänä Nikolai Chekurov valmisti nanokokoisen Aalto-maljakon, jonka korkeus oli noin 600 nanometriä ja tilavuus noin 0,1 femtolitraa.

Uusi nanorakenteiden valmistusmenetelmä on syntynyt TKK:n mikro- ja kvanttisysteemeitä sekä mikrovalmistustekniikkaa tutkivien ryhmien poikkitieteellisen yhteistyön tuloksena.

Tutkimustulos julkaistiin Nanotechnology-lehden verkkosivuilla tammikuussa 2009 ja helmikuussa painetussa lehdessä, jonka kansikuvaan on valittu uudella Micronovan valmistusmenetelmällä työstettyjä kolmiulotteisia nanorakenteita.

Kalevi Nikulainen toimitus@digitoday.fi

Teksti on lisensoitu Creative Commons Nimeä-Ei muutoksia-Epäkaupallinen -lisenssillä.

Kirjoita kommentti

Kommentit (3)

0

0

Kyllä Oulun yliopistolla on ollut FIB jo monta vuotta.

Entinen oululainen

Lainaa Ilmoita asiaton viesti

# 20.2.2009 12:07

3

1

Ionietsauksen haittojen merkityksestä ei ole juurikaan puhuttu. Tästä toivoisin artikkelia.

FIBfanboi

Lainaa Ilmoita asiaton viesti

# 20.2.2009 14:09

2

2

Finland has know-how. Hieno juttu.

Lainaa Ilmoita asiaton viesti

# 20.2.2009 15:24

Sivut: 1 Edellinen Seuraava

Kirjoita vastaus

Ohjeet: Pysy aiheessa ja kirjoita napakasti. Muista, että haastateltavilla, kanssakeskustelijoilla ja toimittajilla on oikeus omaan, eriävään mielipiteeseen. Ole kohtelias ja ystävällinen, äläkä tarkoituksella provosoi tai hauku muita keskustelijoita. Taloussanomat varaa oikeuden poistaa asiattomat viestit. Varauduthan siihen, että linkkejä sisältävät viestit tarkistetaan yksitellen roskapostin suodattamiseksi. Arvostamme mielipidettäsi!
Lue koko keskusteluetiketti

Bottivarmistus: mitä on kaksi ynnä viisi?

Viesti Nimi

Uutiset

Hyvinkään epäilty ampuja poistui kesken illanvieton hakemaan aseita

• Hyvinkään ampumisista epäiltyä luonnehditaan ujoksi ja hiljaiseksi
• Epäilty ampuja yöllä Facebookissa: "Oli kivaa toverit"
• Ruotsin Loreen Euroviisujen ylivoimaiseen voittoon
• Pää edellä sukeltanut mies pelastui nuorten ansiosta